Επισκόπηση
Τα ρομέτρα μάζας είναι εξαιρετικά κρίσιμα εξαρτήματα του εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών. Η σταθερότητα της εργασίας του είναι συχνά ένας βασικός παράγοντας επιτυχίας και αποτυχίας μιας διαδικασίας ημιαγωγών.
HORIBA STEC, Ως κατασκευαστής μετρητών ροής με μερίδιο αγοράς άνω του 35%*1 σε παγκόσμιο επίπεδο, η εταιρεία προσφέρει εδώ και καιρό σταθερά προϊόντα υψηλής ποιότητας και πολυλειτουργικότητας στη βιομηχανία ημιαγωγών. Τώρα, με μια εντελώς νέα τεχνολογία, η HORIBA STEC προωθεί ένα νέο είδος ελέγχου ροής μάζας σε όλο τον κόσμο: τη σειρά Z500.
Σε σύγκριση με τα παλαιότερα μοντέλα, η σειρά Z500X αποτελεί μια εντελώς νέα ανακάλυψη και είναι προορισμένη να αλλάξει το μέλλον της τεχνολογίας ελέγχου ροής. Παράλληλα, παρέχονται όλες οι δυνατότητες ελέγχου της ροής που απαιτούν οι πελάτες, ενώ επιτυγχάνεται η μετατροπή σύνθετων αερίων και σύνθετων ροών. Οι πελάτες μπορούν εύκολα να αλλάξουν τον τύπο και το εύρος των αερίων μετρητών ροής ανάλογα με τις ανάγκες επεξεργασίας*2.
Επιπλέον, με την τεχνολογική καινοτομία των υλικών των προϊόντων, η σειρά Z500 πληροί πλήρως τις απαιτήσεις σχεδιασμού των πράσινων προϊόντων RoHS, αυξάνοντας την αξία των προϊόντων για τους πελάτες.
Οι μετρητές ροής υψηλής απόδοσης της σειράς Z500 θα σας φέρουν περισσότερες εκπλήξεις. Ο κόσμος είναι μάρτυρας της γέννησης αυτού του νέου τύπου μετρητή ροής μάζας που πρόκειται να αλλάξει ολόκληρη τη βιομηχανία ημιαγωγών.
*1 Αναφορά στη μελέτη του VLSI του 2007.
*2 Λειτουργία σύνθετου αερίου και σύνθετης ροής.
Χαρακτηριστικά
Υψηλή ακρίβεια: Ρυθμίστε την τιμή ροής ± 1,0%.
Η γραμμική ακρίβεια του MFC αντισταθμίζεται από μια πολυονομική καμπύλη προσέγγισης, η οποία εγγυάται υψηλή ακρίβεια ελέγχου σε διάφορες περιοχές ελέγχου. Για να βελτιωθεί η ακρίβεια του ελέγχου για διάφορους πραγματικούς τύπους αερίων, η HORIBA STEC ανέπτυξε ένα τυποποιημένο σύστημα μέτρησης αερίων και συλλέγει δεδομένα βαθμονόμησης για διάφορα αέρια επεξεργασίας με βάση πολλά πειράματα.
Απάντηση υψηλής ταχύτητας
Το SEC-Z500X χρησιμοποιεί το πρόσφατα αναπτυγμένο σύστημα "μεταβλητού PID" που εξασφαλίζει ότι οι αλλαγές μεταξύ οποιωνδήποτε δύο ρυθμισμένων σημείων ροής ολοκληρώνονται σε 1 δευτερόλεπτο.
Σχέδια σύνθετων αερίων και σύνθετης ροής
Τα νέα προϊόντα HORIBA STEC επιτρέπουν στους πελάτες να αλλάξουν εύκολα τον τύπο αερίου και τη ροή στο χώρο. Το λογισμικό ρύθμισης του Z500 μας είναι απλό και εύκολο στη χρήση. Ακόμα καλύτερα, η ολοκλήρωση αυτών των αλλαγών δεν απαιτεί καν την απομάκρυνση του MFC από το σύστημα. Με αυτόν τον τρόπο, μπορεί να μειωθεί σημαντικά ο αριθμός των ανταλλακτικών των πελατών, εξοικονομώντας ταυτόχρονα χρόνο και κόστος.
Προϊόντα και άλλα