Απαιτήσεις μέτρησης
Σάρωση τρισδιάστατης μορφής επιφάνειας ηλεκτρονικών συστατικών και εξάρτηση προφίλ για τη μέτρηση της διαφοράς και της τραχύτητας σε διάφορες θέσεις της επιφάνειάς τους

Επισκόπηση των κύριων χαρακτηριστικών
Μη επαφή μέτρηση, ολοκληρωμένο σχεδιασμό

2. τρισδιάστατη σάρωση μορφής, πολυλειτουργική επεξεργασία δεδομένων
Ακριβής μέτρηση για διάφορα υλικά

4. Εύκολη χρήση, εύκολη αποσυναρμολόγηση

5. γρήγορη ταχύτητα σάρωσης και υψηλή ακρίβεια τοποθέτησης

6. ±0,5 έως ±1μm επαναληπτική ακρίβεια εγγυημένη

Υψηλή σταθερότητα, ισχυρή αντοχή στις παρεμβολές

Αποτελέσματα μέτρησης
Οι μετρήσεις σε κάθε τμήμα είναι σχεδόν κοντά στις τυποποιημένες τιμές.

Επίλυση προβλημάτων με τη συσκευή μέτρησης στο παρόν στάδιο

Υπάρχουν ορισμένες απαιτήσεις για το υλικό μέτρησης
2. μέτρηση επαφής, βλάβη στο υλικό μέτρησης
Μικρό εύρος μέτρησης, αβέβαιη θέση, δυσκολία μέτρησης
Αργή ταχύτητα μέτρησης, χαμηλή ακρίβεια και μεγάλο σφάλμα μέτρησης

5. περίπλοκη δομή, υψηλό κόστος