Μέτρηση πάχους μεμβράνης
Απαιτήσεις μέτρησης
Μέτρηση της τραχύτητας μιας επιφάνειας λεπτού υλικού
Επισκόπηση των κύριων χαρακτηριστικών
Μη επαφή μέτρηση, ολοκληρωμένο σχεδιασμό
2. τρισδιάστατη σάρωση μορφής, πολυλειτουργική επεξεργασία δεδομένων
Ακριβής μέτρηση για διάφορα υλικά
4. Εύκολη χρήση, εύκολη αποσυναρμολόγηση
5. γρήγορη ταχύτητα σάρωσης και υψηλή ακρίβεια τοποθέτησης
6. ±0,5 έως ±1μm επαναληπτική ακρίβεια εγγυημένη
Υψηλή σταθερότητα, ισχυρή αντοχή στις παρεμβολές


Αποτελέσματα μέτρησης
Η τραχύτητα της μεμβράνης Ra είναι περίπου 0.8μm
Επίλυση προβλημάτων με τη συσκευή μέτρησης στο παρόν στάδιο
Υπάρχουν ορισμένες απαιτήσεις για το υλικό μέτρησης
2. μέτρηση επαφής, βλάβη στο υλικό μέτρησης
Μικρό εύρος μέτρησης, αβέβαιη θέση, δυσκολία μέτρησης
Αργή ταχύτητα μέτρησης, χαμηλή ακρίβεια και μεγάλο σφάλμα μέτρησης
5. περίπλοκη δομή, υψηλό κόστος
